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電子防潮箱自產氮氮氣柜工業精密烘箱環境試驗箱非標定制升級維修服務其他
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電子防潮箱自產氮氮氣柜工業精密烘箱環境試驗箱非標定制升級維修服務其他
高溫無氧無塵烘箱主要應用于半導體、新材料涂膠鍍膜影印前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜烘( Hard baking)，PI聚酷酷胺等膠水的固化工藝，化、酸、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發機構。本設備內部采用強制對流風道，加熱控制系統，配合無氧充氮控制系統及在線式氧含量分析系統，結合耐高溫高效過濾HEPA(選配)，確保工作室內達到無氧無塵的潔凈防氧化環境。
產品特點：
●外殼:采用1.2mm厚優質冷軋鋼板噴塑處理，表面平整、耐刮傷，易清潔。
●內膽:采用2.0~2.5mm厚SUS304# 鏡面不銹鋼材質經滿焊處理，箱內光亮潔凈，密閉性極佳。
●管路：內部管路采用無縫不銹鋼管件焊接處理，確保管路無漏氣滲透現象。
●氮氣控制：雙流量計節氮系統，雙延時充氮控制，無氧、低氧環境下最大節省氮氣消耗量。
●保溫層：內部采用硅酸鋁巖棉保溫材料，防火、阻燃，采用人工填充，厚度80mm
●溫控器：采用日本富士智能PID溫度控制器，控溫精準，具傳感器斷線報警、超溫保護，偏差修正等功能。
●溫度傳感器：采用進口PT100鉑熱電阻（可選K型熱電偶），精度高，誤差小。
●電熱發生器：采用不銹鋼黑熱發生器，壽命長，安全穩定，連續烘烤壽命>10000小時
●鼓風裝置：采用大功率耐高溫長軸馬達，大口徑不銹鋼渦輪扇葉，可在高溫環境下長期穩定工作
●層架：內部蛇腹層架結構，層板高度可任意調節，自由分配箱內空間
●把手鉸鏈：采用鋅合金合頁鉸鏈，防爆安全把手，堅固耐用，易開易關，松緊可調。
●密封膠條：采用改性硅橡膠材質，可在高溫環境下長期連續使用，耐老化，密封性極佳
●腳輪：配置4只高承重萬象活動輪，前輪帶剎車，方便移動。
可選組件：
●程序升溫：溫度控制系統可升級為可編程多段曲線升溫。
●門控系統：電磁鎖確保烘箱加熱過程箱門密閉
●風門調節裝置：機械旋鈕式手動風門調節/自動控制二者選一。
●氮氣凈化系統：微型油水塵埃過濾組mini fulter，可對氮氣油水、0.1μm顆粒進行過濾
●溫度監測聯網：可安裝溫度記錄儀，監測、記錄、打印、聯網
●氧含量分析儀：可加配氧含量測試儀，記錄打印
| 設備型號 | FO(C)-2 | FO(C)-3 | FO (C)-4 | FO(C)-5 | FO ( C)-2D | FO (C)-3D |
| 控溫范圍 | 50~250°C(最高可訂制500°C) | |||||
| 溫度分辨率 | 0.1℃ | |||||
| 溫度波動度 | ±0.5°C | |||||
| 溫度均勻度 | ±1.5%(200C恒溫空載測試數據) | |||||
| 氧含量 | <10ppm | |||||
| 潔凈度(選配) | 選配 | |||||
| 內寸(mm)W*D*H | 450*400*500 | 600*500*900 | 800*600*1000 | 800*600*1000 | (600*600*500)*2箱 | (400*400*400)*3箱 |
| 層架 | 2PCS | 4PCS | ||||
| 電源 | AC380V50HZ | |||||
| 功率 | 7KW | 11KW | 16KW | 18KW | 16KW | 18KW |
| 定時范圍 | 0~999H/M/S | |||||
| 送風方式 | 單向水平送風 | |||||
| 升溫時間 | RT~250C約25min | |||||
| 控溫方式 | AD+PID | |||||
| 結構設計 | 單門，控制柜位于頂部 | 多倉，控制柜位于側面 | ||||
| 內部材料 | SUS304# | |||||
| 外部材質 | 鋼板烤漆/拉絲或鏡面不銹鋼 | |||||
| 安全保護措施 | 1.接地保護 2.過載保護 3.相序保護 4.超溫保護 5.獨立限溫保護 | |||||
| 選配 | 7寸觸摸屏HMI人機界面控制器(帶歷史曲線，USB轉存儲功能，配套PC端軟件及聯網端口);電磁門禁系統溫度校準，多點溫度監控系統，非標訂制服務 | |||||
