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電子防潮箱自產(chǎn)氮氮?dú)夤?/div>
工業(yè)精密烘箱
環(huán)境試驗(yàn)箱
非標(biāo)定制
升級(jí)維修服務(wù)
其他
工業(yè)精密烘箱環(huán)境試驗(yàn)箱非標(biāo)定制升級(jí)維修服務(wù)其他
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雙層潔凈無(wú)氧烘箱
產(chǎn)品詳情
適用于半導(dǎo)體晶圓后段晶圓片清洗之后的軟烤，硬烤，電鍍工藝，采用SUS304潔凈不銹鋼材質(zhì)，進(jìn)口超高效H.E.P.A過濾器，自動(dòng)開關(guān)風(fēng)門結(jié)構(gòu)，通過內(nèi)部不斷循環(huán)過濾，不斷過濾內(nèi)部partical快速形成無(wú)氧潔凈環(huán)境，機(jī)臺(tái)采用大功率三相靜音低震動(dòng)馬達(dá)，不銹鋼渦輪扇葉，獨(dú)特設(shè)計(jì)渦輪結(jié)構(gòu)，結(jié)合雙循環(huán)風(fēng)道，形成風(fēng)量均勻的循環(huán)熱風(fēng)，實(shí)現(xiàn)高潔凈，溫度均勻的無(wú)氧烘烤環(huán)境，確保烘烤物料受熱均勻，無(wú)氧化現(xiàn)象發(fā)生。
技術(shù)參數(shù)
| 設(shè)備型號(hào) | FDC-2 | FDC-3 | FDC-4 | FDC-5 | FDC-2D | FDC-3D |
| 控溫范圍 | 50~200℃(最高可訂制400℃） | |||||
| 溫度分辨率 | 0.1℃ | |||||
| 溫度波動(dòng)度 | ±0.5℃ | |||||
| 溫度均勻度 | ±1.5%（200℃恒溫空載測(cè)試數(shù)據(jù)） | |||||
| 潔凈度 | class10/100/1000 | |||||
| 過濾器效率 | H13~H14 | |||||
| 內(nèi)部尺寸mm | W600*D500*H600 | W600*D500*H900 | W800*D600*H1000 | W800*D800*H1000 | (W600*D600*H500)*2箱 | (W400*D400*H400)*3箱 |
| 外部尺寸mm | W950*D1180*H1410 | W950*D1180*H1710 | W1060*D1280*H1810 | W1060*D1480*H1660 | W1630*D1220*H1780 | W1430*D1020*H1880 |
| 層架 | 2PCS | 4PCS | ||||
| 電源 | AC 220V 50HZ | AC 380V 50HZ | ||||
| 功率 | 7KW | 9KW | 12KW | 16KW | 16KW | 18KW |
| 定時(shí)范圍 | 0~99H/M/S | |||||
| 送風(fēng)方式 | 單向水平送風(fēng) | |||||
| 升溫時(shí)間 | RT~200℃約20min | |||||
| 控溫方式 | P.I.D | |||||
| 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) | 單門，控制柜位于頂部 | 多倉(cāng)，控制柜位于側(cè)面 | ||||
| 內(nèi)部材料 | SUS304# | |||||
| 外部材料 | 鋼板烤漆-拉絲或鏡面不銹鋼 | |||||
| 安全保護(hù)措施 | 1.接地保護(hù) 2.過載保護(hù)3. 相序保護(hù) 4.超溫保護(hù) 5. 獨(dú)立限溫保護(hù) | |||||
| 選配 | 7寸觸摸屏HMI人機(jī)界面控制器（帶歷史曲線，USB轉(zhuǎn)存儲(chǔ)功能，配套PC端軟件及聯(lián)網(wǎng)端口），φ25mm/φ50mm/φ100mm測(cè)試孔 電磁門禁系統(tǒng)，溫度校準(zhǔn)，非標(biāo)訂制服務(wù)。 |
